TZS、XZS系列数显真空干燥箱

产品简介：

TZS、XZS系列数显真空干燥箱是采用真空泵将箱内的空气抽出，让箱内成为负压，使产品在一个真空的状态下做试验，主要用来干燥样品，也可以提供实验所需的温度环境。适用于电子产品生产过程的脱泡、脱水、硬化和洁净处理后的干燥等真空状态环境下的热处理，特别适合于对干燥热敏性、易分解、易氧化物质和复杂成分物品进行快速高效的干燥处理。广泛应用于半导体、锂电子电池、 LED 光电元器件、晶振等电子产品以及生物化学

产品型号：

更新时间：2025-11-10

厂商性质：生产厂家

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数显真空度干燥箱

数显真空干燥箱

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半导体制造：数显真空干燥箱为光刻胶、硅片干燥保驾护航

真空干燥箱在半导体中的应用

干燥效率低时有哪些具体的解决方法？

真空干燥箱在热敏感物质干燥中起到什么作用

数显真空干燥箱使用时干燥过程和真空度的控制

产品介绍

真空干燥箱

用途概述

TZS、XZS系列数显真空干燥箱是采用真空泵将箱内的空气抽出，让箱内成为负压，使产品在一个真空的状态下做试验，主要用来干燥样品，也可以提供实验所需的温度环境。适用于电子产品生产过程的脱泡、脱水、硬化和洁净处理后的干燥等真空状态环境下的热处理，特别适合于对干燥热敏性、易分解、易氧化物质和复杂成分物品进行快速高效的干燥处理。广泛应用于半导体、锂电子电池、 LED 光电元器件、晶振等电子产品以及生物化学、化工制药、医疗、农业、环保等研究应用领域。

TZS、XZS系列数显真空干燥箱产品特点

※大屏幕液晶仪表，多组数据整屏三色显示，智能化操作界面，简单易懂，便于操作；

※具有自我诊断功能，当出现故障时，显示屏可直接读取故障代码，故障情况一目了然；

※微电脑PID温度控制器，带有定时功能，具有超温报警、超温保护功能，控温准确可靠。

※箱体外壳表面静电喷塑，内胆及载物拖架均采用不锈钢材料，造型美观，经久耐用；

※箱门具备大视角透明玻璃观察窗，可观察样品可恒温保温，抽屉式载物架（仅限外加热）

※经典长柄锌合金门把手，旋转式两级锁结构，确保密封圈与门紧密结合，保温保压性能佳。

※可根据实验需要设定报警温度点，温度偏高或超过设定温度将自动报警；

※内胆与壳体之间采用玻璃纤维棉作为隔热保温材料，更加有效的减少热量损失，节能环保；

※具有漏电、短路、过热、过载等多重保护，具有因停电死机防止丢失数据的参数记忆功能。

※长方体内胆，采用不锈钢材料，双层玻璃观察窗，便于观察内部样品情况；

※样品的存储、加热、干燥等都是真空环境下运行，不氧化且干燥充分，不留残余杂质；

※粉泡沫或颗粒状样品，在真空干燥内不会被吹散，可有效缩短干燥时间并消除氧化物爆炸可能；

真空干燥箱如何选型？

Ⅰ、温度范围（可选65℃、250℃、300℃、400℃、500℃、600℃）

Ⅱ、加热方式（内加热或外加热）

1、内加热：（N型）：隔板加热

加热元件固定于隔板下不可抽取，每层加热区域均单独对应一套液晶仪表及温度传感器，内加热结构升温迅速，控温准确。

2、常用外加热：四面加热

加热元件位于箱体四周辐射加热，加热无真空放电、短路及积碳等问题，隔板为网孔状不锈钢材质，隔板高度自由调节可拆卸，便于清洁。

Ⅲ、数显真空箱（TZS系列）

对真空度要求准确或需联动控制真空度，无需人工值守，优先选择真空度数显功能，可定制PLC编程控制。

IV、容积大小（尺寸可任意定制）

根据样品大小，选择不同内胆容积，如有特殊尺寸可选择定制。

V、多箱一体式真空干燥箱（XZ、XZS）

可定制2层、3层等多层叠加式真空干燥箱，一体式结构。

可选配件

程序控制：P系列或彩色触摸屏

可根据工艺需求设定加热、真空保持保持时间，确保每批次烘烤一致性。

碳钢隔音柜：与箱体呈一体结构，站立操作方便省心，可内置真空泵等配套设备，既美观亦可节约空间，降低噪音污染；

温控表：液晶显示表，程控液晶显示表，彩色触摸屏仪表

真空表：①代指针表，②代数字显示显表，③代彩色触摸屏仪表

旋片式真空泵（V系列油泵）、防腐隔膜真空泵（VGM系列无油泵）；

真空接口：标配宝塔头，可选配KF16、KF25、KF40、KF50等接口；

真空波纹管：不锈钢耐高温可弯曲，可选KF16、KF25、KF40、KF50等口径；

可选配件：油雾过滤器、嵌入式打印机、独立限温控制器、惰性气体进气阀、气体流量计、RS485接口、USB（不含U盘，如需要可加购）

真空分类	压力范围	特点
低真空	10⁵~10²Pa（100000~100Pa）	压力接近大气压，气体分子密度较高，主要利用“气压差"实现物理效应
中真空	10²~10⁻¹Pa（100~0.1Pa）	气体分子间碰撞减少，开始体现“真空特性"，如降低沸点、减少气体干扰
高真空	10⁻¹~10⁻⁵Pa（0.1~0.00001Pa）	气体分子密度极低，几乎无碰撞，适合需要“纯净环境"或“高精度控制"的场景
超高真空	<10⁻⁵Pa（<0.00001Pa）	气体分子极少（接近宇宙空间）表面吸附效应显著，仅用于精密的科学研究或技术

技术参数

名称	程控数显真空干燥箱
产品型号	TZS-6030LVP	TZS-6050LVP	TZS-6090LVP	TZS-6125LVP	TZS-6150LVP	TZS-6210LVP	TZS-6250LVP	TZS-6430LVP
产品型号	TZS-6030LV-I	TZS-6050LV-I	TZS-6090LV-I	TZS-6125LV-I	TZS-6150LV-I	TZS-6210LV-I	TZS-6250LV-I	TZS-6430LV-I
电源电压	AC220V 50Hz						AC380V 50Hz
真空仪表	LVP型为分体式控制（真空表②代数显5段可编程、程序液晶温控表）/LV-I型为一体式控制（多功能彩色触摸屏）
加热方式	外加热
控温范围	RT(室温)+10~250℃
恒温波动度	±0.5℃
温度分辨率	0.1℃
真空范围	≤133Pa
输入功率	650W	1270W	1870W	2770W	3000W	3550W	4750W	7950W
内胆尺寸WDH(mm)	320320300	415370345	450450450	500500500	500500600	560600640	600600700	630810845
外形尺寸WDH(mm)	6355151000	5755101130	6155901235	6606401290	6907051520	7207351560	7607401610	100010401855
公称容积	30L	50L	90L	125L	150L	210L	250L	430L
隔板数量	1块	2块	2块	3块	3块	3块	3块	4块
内胆材质	304不锈钢
定时范围	1~9999min
标准配件	旋片式真空泵、碳钢隔音柜
可选配件	PLC可编程逻辑控制器、惰性气体进气阀、RS485接口、嵌入式打印机

名称	多箱一体式真空干燥箱			多箱一体式数显真空干燥箱			多箱一体式真空干燥箱
产品系列	XZ-50-Ⅱ 两层	XZ-91-Ⅱ 两层	XZ-125-Ⅱ 两层	XZS-50-II 两层数显	XZS-91-II 两层数显	XZS-125-II 两层数显	XZ-91-III 三层	XZ-141-III 三层	XZ-151-III 三层
电源电压	AC220V 50Hz			AC220V 50Hz			AC220V 50Hz	AC380V 50Hz
仪表控制	①代指针式真空表、温控液晶显示			②代数显真空表，温控液晶显示			①代指针式真空表，温控液晶显示
加热方式	外加热			外加热			外加热
控温范围	RT+10~250℃			RT+10~250℃			RT+10~250℃
恒温波动度	±0.5℃			±0.5℃			±0.5℃
温度分辨率	0.1℃			0.1℃			0.1℃
真空范围	≤133Pa			≤133Pa			≤133Pa
输入功率	2200W	3300W	3800W	2200W	3300W	3800W	3500W	4500W	6000W
内胆尺寸 WDH(mm)	415370345 (单箱内胆)	450450450 (单箱内胆)	500500500 (单箱内胆)	415370345 (单箱内胆)	450450450 (单箱内胆)	500500500 (单箱内胆)	450450450 (单箱内胆)	380600620 (单箱内胆)	750530380 (单箱内胆)
公称容积	单箱50L	单箱91L	单箱125L	单箱50L	单箱91L	单箱125L	单箱91L	单箱141L	单箱151L
隔板数量	单箱2块	单箱2块	单箱3块	单箱2块	单箱2块	单箱3块	单箱2块	单箱3块	单箱3块
定时范围	1~9999min			1~9999min			1~9999min
内胆材质	304不锈钢			304不锈钢			304不锈钢
可选配件	PLC可编程逻辑控制器、惰性气体进气阀、气体流量计、冷阱、油雾过滤器、RS485接口、嵌入式打印机

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