HMDS预处理真空干燥箱，又称TDM系列真空镀膜干燥箱，是一种专用于半导体、光电、微电子等领域中光刻前处理工艺的专用设备。其主要功能是在真空环境下将六甲基二硅氮烷（HMDS, Hexamethyldisilazane）以蒸汽形式沉积于基材表面，从而改善基材表面亲水性，提高光刻胶与基底的附着力，确保后续微图形工艺的质量与稳定性，喆图预处理真空干燥箱适用于 1-12 英寸半导体晶圆（硅基、碳化硅、氮化